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| 退火气氛对BiFeO3薄膜电性能的影响 |
| 王国强，刘红日 |
| 1.郧阳师范高等专科学校 物理与电子工程系， 湖北 十堰；2.湖北师范学院 物理与电子科学学院， 湖北 黄石 |
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| 王国强，刘红日 |
| 1.郧阳师范高等专科学校 物理与电子工程系， 湖北 十堰；2.湖北师范学院 物理与电子科学学院， 湖北 黄石 |
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摘要 采用溶胶－凝胶法在氟掺杂SnO2/glass(FTO/glass)衬底上制备BiFeO3(BFO)薄膜，薄膜的退火气氛分别是空气、氧气、氮气，退火温度为500 °C.XRD衍射图样表明BiFeO3薄膜结晶充分，没有杂相.剖面扫描电镜测试结果表明薄膜的厚度为600 nm.铁电性测试表明在空气中退火的BiFeO3薄膜能够观察到饱和电滞回线，其剩余极化强度为53.9 μC/cm2；在氧气和氮气气氛中退火的BiFeO3薄膜的剩余极化强度分别为53.6 μC/cm2和 39.2 μC/cm2.在空气和氧气气氛中退火的BiFeO3薄膜，在相同的测试频率时表现出相近的介电常数.此外，在不同气氛中退火制备的BiFeO3薄膜具有不同的漏电流特性.
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收稿日期: 2011-03-25
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