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华中师范大学学报(自然科学版)  2017, Vol. 51 Issue (2): 162-167    
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基于液滴锡靶LPP-EUVL光源多层膜的溅射损伤研究
吴 涛, 姚 拴
武汉工程大学 理学院, 武汉 430205
Sputtering damage of multilayer coatings for LPP-EUVL light source based on Sn droplet target
WU Tao, YAO Shuan
School of Science, Wuhan Institute of Technology, Wuhan 430205
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